VẬT LÝ · LỚP 11 · Khám phá và đời sống

Cảm biến gia tốc tự kiểm tra được khối nặng bên trong mà không cần lắc máy?

Một cảm biến gia tốc có thể thử phản ứng của chính nó trong lúc vỏ gần như đứng yên. Khi bật self-test ở một số thiết kế MEMS, mạch tạo một lực điện lên cấu trúc cơ nhỏ bên trong.

Các điện cực phụ đặt cạnh phần chuyển động. Điện áp kiểm tra tạo lực tĩnh điện làm khối nhạy dịch rất nhỏ; đường đọc điện dung hoặc phần mạch tương ứng ghi sự thay đổi. So trạng thái bật và tắt giúp phát hiện một số lỗi thô của hệ cơ–điện.

Trong thiết bị cần theo dõi rung, khả năng này cho phép kiểm tra đường đo mà không phải tạo cú va chạm thật. Nó khác với việc dùng trọng lực hoặc một máy rung chuẩn để hiệu chuẩn toàn thang.

Một kết quả self-test đúng không chứng minh mọi sai lệch, mọi trục và mọi nhiệt độ đều đã được kiểm. Mức kích và tiêu chí chấp nhận phụ thuộc linh kiện. Liên hệ cốt lõi là lực điện; công nghệ MEMS và kiểm tra thiết bị là phần mở rộng.

*Khối nhạy trên dầm đàn hồi và một điện cực thử tạo lực điện trong mô hình MEMS. Mũi tên gợi chiều dịch kiểm tra, không biểu diễn gia tốc thật của vỏ hoặc cấu trúc mọi cảm biến.*

Kiến thức liên hệ: Lực điện và điện dung; MEMS và điều khiển hạt là mở rộng.

Học tiếp: Cảm biến điện dung dựa vào phân bố điện trường.

Tư liệu đối chiếu

- https://www.nxp.com/docs/en/application-note/AN13193.pdf
- https://ez.analog.com/temperature_sensors/a/documents/c/adxl203-faq/DO25550/adxl203-self-test-calibration