VẬT LÝ · LỚP 11 · Khám phá và đời sống

Gương MEMS quét chùm sáng mà không cần quay cả chiếc đèn thế nào?

Để hướng chùm sáng qua nhiều vị trí, máy quét có thể nghiêng một gương rất nhỏ thay vì chuyển cả nguồn. Khối lượng cơ nhỏ giúp một số thiết kế thay hướng nhanh trong hành trình cho phép.

Bản gương được treo trên các phần đàn hồi và ghép với cơ cấu chấp hành. Ở loại dẫn động tĩnh điện, điện cực tạo mômen làm gương nghiêng; đường phản xạ đổi theo hướng pháp tuyến. Thiết kế có thể quét gần tĩnh hoặc khai thác một mode cộng hưởng.

Một chùm điều khiển theo thời gian có thể vẽ đường khảo sát lên mẫu hoặc dẫn tia tới vị trí cần đo. Không cần tách chùm thành nhiều tia đồng thời để tạo đường quét; tốc độ chuyển hướng và nhịp thu phải phối hợp.

Góc quang thay đổi khác với góc cơ của gương, và giới hạn hành trình không thể bỏ qua. Phải tuân thủ an toàn nguồn sáng của thiết bị; hình không phải bài thử laser. Lực điện là liên hệ lớp 11, vi cơ và phản xạ quang là mở rộng.

*Hai trạng thái gương MEMS nhận cùng hướng tia tới; các hướng phản xạ được tính theo góc mặt gương. Màu chỉ hai trạng thái liên tiếp, không phải gương tự tách chùm thành hai tia đồng thời.*

Kiến thức liên hệ: Lực điện và điện dung; MEMS và điều khiển hạt là mở rộng.

Học tiếp: Cảm biến điện dung dựa vào phân bố điện trường.

Tư liệu đối chiếu

- https://www.mirrorcletech.com/wp/products/mems-mirrors/
- https://www.mirrorcletech.com/wp/wp-content/uploads/2018/01/Mirrorcle-Technologies-MEMS-Mirrors-Technical-Overview.pdf